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半自動勻膠機

簡要描述:全新外觀設計,適配實驗室實驗操作
半導體顯影機
*進的設計理念,模塊化設計
可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動控制系統(tǒng),提高實驗精度及重復性

  • 產(chǎn)品型號:AC200-CTM
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2025-02-11
  • 訪  問  量:3775

產(chǎn)品特點

全新外觀設計,適配實驗室實驗操作

*進的設計理念,模塊化設計

可快速拆卸和替換原有功能模塊,操作便捷

支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制

可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制

配載精密的運動控制系統(tǒng),提高實驗精度及重復性


產(chǎn)品參數(shù)

轉速范圍:20-10000rpm

轉速分辨率:±1rpm

加速度可調(diào)范圍:20-50000rpm/s

單步時長:3000s

時間分辨率:0.1s

適用基片尺寸:4/6/8寸標準晶圓,非標準基片可定制載物盤

顯影噴嘴距離基片高度可調(diào),可調(diào)范圍10-50mm

可添加背洗功能(根據(jù)客戶需求而定)




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